Holger Daßler, Wolfgang Manthey, Lutz Thieme:

Mikromechanisch gefertigte akustische Wandler-Arrays

Aufbauend auf bereits vorgestellten PVDF-Foliewandlern für gasförmige Medien werden am Lehrstuhl "Meß- und Sensortechnik" der TU Chemnitz Untersuchungen zu Ultraschallwandler-Arrays zur richtscharfen Schalleinkopplung in flüssige Medien durchgeführt. Einsatzgebiete für eine gerichtete elektronisch steuerbare Schallabstrahlung sind beispielsweise die Durchflußmessung, die Objektidentifikation oder die zerstörungsfreie Materialprüfung. Mikromechanische Technologien zur Herstellung der Sensorarrays erlauben aufgrund einer ausgereiften Silizium-Bearbeitung eine effektive Fertigung von Einzelelementen mit erforderlichen Strukturbreiten von weniger als 100 µm, bei ausgezeichneter Reproduzierbarkeit. Durch neuartige Ätzmethoden sind kleinste Strukturierungen sowie mechanische und elektrische Entkopplung der Einzelelemente möglich.

XI. Meßtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Meßtechniklehrer e. V.
Tagung Rostock Warnemünde, 29.9. bis 1.10.1997

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